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一种基于六轴MEMS 器件的低成本动态倾角传感器设计

〖字号: 发布日期:2017-07-12

一种基于六轴MEMS 器件的低成本动态倾角传感器设计

王晓兰,邹治弢
中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要:倾角传感器是一种非常精确的测量小角度的检测工具,用它可测量被测平面相对于水平位置的倾斜度、两部件相互平行度和垂直度。动态工况下普通传感器无法直接应用,通过一种低成本的简易化方法,结合六轴MEMS 技术和MCU 的应用,实现了动态倾角传感器的工程化。
关键字:动态倾角;六轴MEMS;六轴融合

A Low-cost Dynamic Inclination Sensor Design Based on Six-axis MEMS Device

WANG Xiao-lan, ZOU Zhi-tao
The 49th Research Institute, China Electronic Technology Group Corporation
Abstract:Abstract:Inclination sensor is a very accurate detection tool for measuring micro angle. It can be used to measure the flit of the measured plane relative to the horizontal position, mutual parallelism and verticality between the two parts. The ordinary sensors can’t be applied directly under dynamic conditions. In this paper, a low-cost simplification method is applied by combining with six-axis MEMS technology and MCU applications. The engineering of dynamic inclination sensor is realize
Key Words:dynamic inclination; six-axis MEMS; six-axis fusion


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