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一种四电极电导率传感器的研制与实验

〖字号: 发布日期:2017-07-12

一种四电极电导率传感器的研制与实验

刘 洋,傅 巍,郑 伟,王洋洋,程振乾,秦 浩
中国电子科技集团公司 第四十九研究所
摘要:采用高温共烧结技术制备将工作电极与激励电极热压并一次共烧成一体的电导敏感芯体,测量范围0 ~ 200μS/cm,精度小于±1.5 %FS。介绍了该电导传感器的测量原理、电路方案、封装结构及工艺流程。通过对其进行性能实验, 验证该传感器具有测量精度高的特定,并考核了传感器的长期稳定性。
关键字:四电极;电导率传感器;稳定性;共烧结工艺技术

Development and Experiment of A Four-electrode Conductivity Sensor

LIU Yang, FU Wei, ZHENG Wei, WANG Yang-yang, CHENG Zhen-qian, QIN Ha
(The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation
Abstract:High Temperature Co-fired Ceramic (HTCC) is used to prepare a conductance sensitive core with a working electrode and an actuating electrode heated at one time. The range of measurement is 0 ~ 200 μS/cm, and the accuracy was less than ±1.5 %FS. The measuring principle, circuit scheme, package structure and process flow of the conductance sensor are introduced. By conducting the performance experiments, the sensor is verified to be specific to the measuring precision and the long-term stability of the sensor.
Key Words:four-electrode; conductivity sensor; stability; technique of co-sintering proce


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